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當(dāng)前位置:材料測試 ?  力學(xué)性能 ? 

薄膜應(yīng)力測試儀

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薄膜應(yīng)力測試儀

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項目介紹

激光曲率法,基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測量原理,采用先進的激光掃描方式和探測技術(shù),以及智能化的操作,使得FST5000薄膜應(yīng)力儀特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測量。

樣品要求

1、樣品尺寸最大12英寸,向下兼容10、8、6、 4、 3、 2、 1英寸

2、薄膜厚度目前沒有明顯要求(一般說的薄膜或者晶圓,厚度都是微米級~幾個mm以內(nèi))

3、需要提供薄膜的厚度值,作為評估和測試的參考

4、測試一般分為兩個步驟,先測一次沒有鍍膜的空白基底材料的曲率情況,鍍膜完成后再測一次鍍膜后引起的曲率變化,兩者相減,計算得到薄膜應(yīng)力。因此最好是鍍膜前后分別送樣測試,可以得到準(zhǔn)確的應(yīng)力結(jié)果,如果一次性提供一片空白基底以及鍍膜以后的一片樣品一起測試,也可得到相關(guān)數(shù)值,但是結(jié)果準(zhǔn)確度會有降低

項目案例

6英寸硅晶圓襯底弓高翹曲曲線

6英寸硅晶圓襯底表面3D形貌

TiN金屬薄膜表面3D形貌

3D輪廓

曲率/應(yīng)力分布

弓高/翹曲度

薄膜應(yīng)力測試儀

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安心測服務(wù)說明
關(guān)閉
7天無理由
7天無理由免費復(fù)測
1. 復(fù)測保證

如果在訂單完成之后7天內(nèi)對結(jié)果存疑,可申請同條件免費復(fù)測,更換條件或者參數(shù)不能參與免費復(fù)測保障服務(wù),全程由專業(yè)團隊操作,確保結(jié)果有效性;

2. 具體細則

每單限1次復(fù)測機會,單次需小于5個樣品; 此外免費復(fù)測樣品必須為同一樣,私人定制、云視頻測試不可享受此服務(wù);

3. 注意事項

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務(wù);

我知道了
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