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當(dāng)前位置:材料測(cè)試 ?  材料加工 ? 

等離子體聚焦離子束顯微鏡(PFIB)

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等離子體聚焦離子束顯微鏡(PFIB)

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黃歡

TEM測(cè)試工程師

3年透射電鏡(TEM)測(cè)試工作經(jīng)驗(yàn)。專長(zhǎng)于常規(guī)材料的形貌分析,具備深入觀察材料微觀結(jié)構(gòu)的能力。

項(xiàng)目介紹

等離子體聚焦離子束(PFIB)使用Xe氙作為離子源,Xe源電流2500nA,在離子材料去除上有更高的速率。雙束PFIB配備SEM實(shí)時(shí)成像,用于1000微米以內(nèi)大尺寸切片,芯片局部去層可配合Nano Probe由于其離子電流比Ga高38倍,適用于SEM定位大尺寸的切割,芯片熱點(diǎn)位置可進(jìn)行定點(diǎn)去層,大尺寸樣品可以邊切邊觀察,便于分析測(cè)試,配合Nano Probe、CAFM、EBSD制備,可以解決客戶3D防撞TSV定點(diǎn)截面分析、MEMS結(jié)構(gòu)無(wú)形截面分析、光芯片光路截面分析、失效孤品去層分析的需求。

樣品要求

1. 粉末樣品:樣品尺寸至少為5μm以上,且無(wú)磁性;

2. 薄膜/塊體樣品:最大尺寸不超過(guò)2cm,高度不超過(guò)3mm,可以有磁性,但強(qiáng)磁樣品應(yīng)盡可能減小尺寸;

3. 在送樣前,請(qǐng)通過(guò)掃描電子顯微鏡(SEM)確認(rèn)樣品滿足PFIB制樣的要求;

4. 按照樣品個(gè)數(shù)計(jì)費(fèi),加工成品大小一般不超過(guò)長(zhǎng)度 5μm*深度 5μm;如果樣品需要加工更大尺寸,請(qǐng)?jiān)谙聠吻奥?lián)系技術(shù)經(jīng)理進(jìn)行評(píng)估和議價(jià)

5. 樣品應(yīng)具有良好的導(dǎo)電性,如果導(dǎo)電性比較差,需要進(jìn)行噴金或噴碳處理。

項(xiàng)目案例
常見問(wèn)題
1、FIB可以做什么?

(1)FIB-SEM:FIB制備微納米級(jí)樣品截面,進(jìn)行SEM和能譜測(cè)試。感興趣區(qū)域尺度要求200nm-30μm,通常切樣面寬度不超過(guò)10μm。

(2)FIB-TEM:FIB制備滿足透射電鏡的 TEM截面樣品。樣品包括:薄膜、塊體樣品,微米級(jí)顆粒。樣品種類:陶瓷、金屬等。

2、FIB制樣可能引入的雜質(zhì)?

W、C、Pt和Ga,其中W、C和Pt是為了保護(hù)減薄區(qū)域,Ga是離子源。如果樣品不導(dǎo)電可能噴Au或者噴Pt,從而引入這兩種元素。

3、FIB樣品為什么需要導(dǎo)電?

樣品是在SEM電鏡下進(jìn)行操作,需要清晰地觀察到樣品的形貌,否則無(wú)法精準(zhǔn)制樣。

4、FIB-TEM的制樣流程是 ?

(1)找到目標(biāo)位置(定位非常重要),表面噴Pt、W或C進(jìn)行保護(hù)目標(biāo)區(qū)域; 

(2)將目標(biāo)位置前后兩側(cè)的樣品挖空,剩下目標(biāo)區(qū)域后進(jìn)行U-cut;

(3)通過(guò)納米機(jī)械手將這個(gè)薄片取出,將樣品焊到銅網(wǎng)上的樣品柱上;

(4)減薄到理想厚度后停止。

等離子體聚焦離子束顯微鏡(PFIB)

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7天無(wú)理由
7天無(wú)理由免費(fèi)復(fù)測(cè)
1. 復(fù)測(cè)保證

如果在訂單完成之后7天內(nèi)對(duì)結(jié)果存疑,可申請(qǐng)同條件免費(fèi)復(fù)測(cè),更換條件或者參數(shù)不能參與免費(fèi)復(fù)測(cè)保障服務(wù),全程由專業(yè)團(tuán)隊(duì)操作,確保結(jié)果有效性;

2. 具體細(xì)則

每單限1次復(fù)測(cè)機(jī)會(huì),單次需小于5個(gè)樣品; 此外免費(fèi)復(fù)測(cè)樣品必須為同一樣,私人定制、云視頻測(cè)試不可享受此服務(wù);

3. 注意事項(xiàng)

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問(wèn)題/選錯(cuò)測(cè)試條件等)將不可享受此服務(wù);

我知道了
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