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3D光學(xué)輪廓儀：非接觸式表面粗糙度與形貌測量利器

來源：時間：2023-11-28 15:23:25 瀏覽：5655次

3D 光學(xué)輪廓儀：非接觸式表面粗糙度與形貌測量利器

3D光學(xué)輪廓儀是一種先進的非接觸式表面粗糙度與形貌測量設(shè)備，廣泛應(yīng)用于各類精密器件及材料表面的亞納米級測量。

一、工作原理

3D光學(xué)輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，通過精密的掃描系統(tǒng)和3D建模算法，對被測表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像；系統(tǒng)軟件對表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取反映表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)表面形貌的3D測量。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

3D光學(xué)輪廓儀廣泛應(yīng)用于納米材料、航空航天、半導(dǎo)體、汽車、精密制造業(yè)等領(lǐng)域的表面質(zhì)量要求高的產(chǎn)品。

其主要應(yīng)用于以下幾個方面：

1. 納米材料研究：對納米材料表面的粗糙度、輪廓等參數(shù)進行高精度測量，以滿足納米材料研發(fā)的需求。

2. 航空航天與半導(dǎo)體：對航空器、衛(wèi)星、芯片等高精度零部件表面進行粗糙度、平整度、曲率等參數(shù)的測量，以確保其性能和可靠性。

3. 精密制造業(yè)：對各類精密儀器、設(shè)備及工具表面的形貌進行高精度測量，以滿足生產(chǎn)過程中對表面質(zhì)量的嚴格要求。

4. 生物醫(yī)學(xué)：對生物組織、細胞、器官等表面形貌進行非破壞性測量，為生物學(xué)研究提供數(shù)據(jù)支持。

5. 學(xué)術(shù)研究：應(yīng)用于高校、研究機構(gòu)等單位的表面科學(xué)研究，為學(xué)術(shù)交流和科技創(chuàng)新提供支持。

三、主要性能參數(shù)

1. 影像系統(tǒng)：3D光學(xué)輪廓儀采用1024x1024的高分辨率影像系統(tǒng)，確保測量結(jié)果的準確性。

2. 光學(xué)ZOOM：光學(xué)ZOOM可根據(jù)不同測量需求進行調(diào)整，提供0.5、0.75、1等多種倍率可選。

3. 干涉物鏡：3D光學(xué)輪廓儀配備10、2.5、5、20、50、100等多種干涉物鏡，可根據(jù)測量范圍和精度要求進行選擇。

4. XY平臺：3D光學(xué)輪廓儀配備高精度XY平臺，實現(xiàn)對被測表面的掃描和定位。

5. 垂直與水準軸向掃描范圍：垂直軸向掃描范圍可達60mm，水準軸向掃描范圍可根據(jù)客戶需求進行調(diào)整。

6. 校正與精度：3D光學(xué)輪廓儀采用快速校正程式和可靠算法，確保系統(tǒng)校正結(jié)果可追朔至NIST標準，實現(xiàn)高精度測量。

四、優(yōu)勢

1. 非接觸式測量：3D光學(xué)輪廓儀采用白光干涉技術(shù)，實現(xiàn)非接觸式表面測量，避免了對被測表面的損傷和破壞。

2. 高精度：3D光學(xué)輪廓儀具有高精度、高分辨率的光學(xué)系統(tǒng)和強大算法支持，實現(xiàn)亞納米級的表面粗糙度和形貌測量。

3. 快速測量：快速校正程式和可靠算法，縮短了測量時間，提高了工作效率。

4. 廣泛應(yīng)用：3D光學(xué)輪廓儀可滿足各類精密表面的高精度測量需求，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。

5. 靈活配置：3D光學(xué)輪廓儀具備高度彈性的組合配置，可根據(jù)不同測量需求選擇合適的光學(xué)系統(tǒng)和配件。

6. 易于操作：3D光學(xué)輪廓儀操作簡便，通過電腦控制即可實現(xiàn)對被測表面的非接觸式測量。

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