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背散射電子衍射裝置樣品標(biāo)準(zhǔn)以及具體分析功能
來源：測(cè)試GO 時(shí)間：2022-09-23 13:40:56 瀏覽：2660次

背散射電子衍射裝置(EBSD)：是掃描電子顯微鏡(SEM)的附件之一，它能提供如晶間取向、晶界類型、再結(jié)晶晶粒、微織構(gòu)、相辨別和晶粒尺寸測(cè)量等完整的分析數(shù)據(jù)。EBSD數(shù)據(jù)來自樣品表面下10-50nm厚的區(qū)域，且EBSD樣品檢測(cè)時(shí)需要傾轉(zhuǎn)70°，為避免表面高處區(qū)域遮擋低處的信號(hào)，所以要求EBSD樣品表面“新鮮”、清潔、平整、良好的導(dǎo)電性、無應(yīng)力等要求。

背散射電子衍射裝置展示圖

背散射電子衍射裝置樣品標(biāo)準(zhǔn)包括以下幾點(diǎn)：

1.樣品尺寸大小不超過8X8mm，厚度不超過3mm，測(cè)試面需要表面光滑，沒有明顯劃痕；

2.若尺寸較大，請(qǐng)?zhí)崆熬€切割好，若需要我們線切割，需要額外收費(fèi)；

3.送樣過程注意保護(hù)好測(cè)試面，避免劃傷；

 

EBSD具體分析功能：

1、微觀組織分析：晶粒尺寸、均勻性、有沒有孿晶及孿晶的體積分?jǐn)?shù)、再結(jié)晶晶粒及亞晶、晶界特性分析、相鑒定及相分布等；

分析思路：主要通過分析取向分布圖實(shí)現(xiàn)，不同顏色晶粒代表不同的取向，晶粒形狀大小反映材料變形或再結(jié)晶情況，根據(jù)相鄰晶粒夾角確定晶界類型，并用不同的顏色將晶界表示出來；

2、取向分析：相鄰晶粒的取向分析，晶粒和相鄰孿晶的取向分析，孿晶及相鄰孿晶的取向分析，織構(gòu)分析、取向差分析；

分析思路：兩個(gè)相鄰晶粒可以用歐拉角分析，極圖分析等，大范圍晶粒取向用極圖或反極圖分析。


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